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紅外氣體傳感器
Gasboard-2060
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品特性
    • 使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
    • 響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
    • 無耗材
    • 模擬/數(shù)字通信
    • 模塊化設(shè)計(jì)，便于集成

應(yīng)用領(lǐng)域
    用于半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)。
技術(shù)參數(shù)
檢測(cè)原理 NDIR
檢測(cè)氣體 SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性 ±0.5%
線性 ±1%F.S.
檢測(cè)限 1ppm

*具體參數(shù)請(qǐng)以規(guī)格書為準(zhǔn)，如需獲取更多技術(shù)信息，請(qǐng)聯(lián)系：027-81628829或[email protected]
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